分光系統作為臺式X熒光分析儀中重要的組成部分，通過分光晶體衍射將不同波長的X射線分開。
分光晶體作為分光系統的核心部件，為了獲得好玩的分析效果，晶體的選擇是十分重要的。分光晶體相當于光學光譜儀中棱鏡和光柵，X射線區域之所以不能使用棱鏡或光柵作為的分光單元，是因為X射線的波長短、能量大、穿透力強、幾乎不發生折射。大部分分光晶體為無機或有機鹽類單晶，也可使用人造多晶膜晶體。其晶體選擇考慮四個方面：
1.衍射強度高，分光晶體的次線的衍射強度一般大于高一次線，衍射強度也隨波長而變化。晶體表面的光潔度、晶體結構的完整性、晶體的不同晶面都會影響衍射強度。
2.分辨率高，利于少譜線干擾，分辨率是指分光晶體能分開或辨別兩條波長十分相近譜線的能力。同一晶體的不同晶面會有不同的分辨率，一般選用高分辨率的晶體和晶面。分辨率同時受角色散率和發散度的影響。
3.信噪比高，信噪比是指信號與噪聲的比值，一般選用信噪比高的晶體。
4.溫度效應小，一般地，隨衍射角的增大，晶體的熱膨脹系數對譜峰位移的影響也將增大。所選晶體應是受溫度、濕度影響小的。
臺式X熒光光譜儀的應用
分光晶體作為分光系統的重要組成部分，其性能好壞直接影響了X射線的分光效果，影響之后的檢測效果。根據上述內容，選擇合適的分光晶體。